三氟化氮

化學式：NF3

純度規(guī)格：5N

主要用途：清洗、刻蝕

主要應用領域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、顯示面板

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產品種類：

主要氣體

產品標簽：

電子特種氣體

產品詳情

高純三氟化氮主要應用于大規(guī)模集成電路和顯示面板等制造過程中的清洗、刻蝕工藝，具有良好的選擇性、蝕刻速率，純度一般需要達到4N，公司已實現5N 級三氟化氮的量產，憑借優(yōu)異的產品品質，多年來穩(wěn)定供應境內外集成電路和顯示面板知名客戶，在業(yè)內樹立了技術領先、產品優(yōu)質、客戶信賴的品牌形象。

以品質為基石，開拓全球市場

目前，派瑞特氣公司擁有單條年產能超過3000噸的高純三氟化氮氣體生產線，擁有高純六氟化鎢規(guī)?；a線，擁有三氟甲磺酸系列產品研發(fā)生產基地，建設了高純鎢制品中試生產線，實現了企業(yè)大宗制氣的技術突破，已成為國內特氣行業(yè)產品系列豐富、生產能力大、市場覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強的企業(yè)。

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公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產品的研發(fā)、生產和銷售，主要產品包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料。