電子特種氣體是什么？
電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”，在微電子和光電子器件的生產(chǎn)過程中，從芯片生長(zhǎng)到最終器件封裝，幾乎每一個(gè)步驟和環(huán)節(jié)都離不開電子氣，因此電子氣被稱為半導(dǎo)體材料的“食物”和“來源”，電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%，雖然看似占比不大，但是很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞，電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。
電子特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及相關(guān)太陽(yáng)能電池等高科技行業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化和清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對(duì)電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國(guó)內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口，自身的技術(shù)水準(zhǔn)(6N)與國(guó)際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項(xiàng)目將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對(duì)MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級(jí)提高到ppb、ppt級(jí)，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對(duì)氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化問題。
電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大半導(dǎo)體材料市場(chǎng)需求，2016年電子氣國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求為48.02億，占比14%。特種電子氣體高端產(chǎn)品被國(guó)外壟斷。該領(lǐng)域主要生產(chǎn)廠家有美國(guó)氣體化工、美國(guó)普萊克斯、日本昭和電工、德國(guó)林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣、日本酸素，市場(chǎng)份額合計(jì)85%。據(jù)全球半導(dǎo)體協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，純電子氣體有60多種，混合氣體有80多種，據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計(jì)，2012-2016年，國(guó)內(nèi)電子氣企業(yè)實(shí)際產(chǎn)銷量占國(guó)內(nèi)晶圓制造用電子氣市場(chǎng)需求的比例從3.8%上升到25.0%。雖然國(guó)內(nèi)電子氣的比重大幅提高，但其總產(chǎn)量仍不能滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求，電子特種氣體的品種和產(chǎn)量亟待提高。
在整個(gè)行業(yè)供應(yīng)鏈中，氣體原料、設(shè)備、運(yùn)輸和客戶非常重要，是氣體供應(yīng)商的利潤(rùn)來源?，F(xiàn)在氣體產(chǎn)品種類繁多，客戶對(duì)氣體產(chǎn)品的需求多樣化，往往在某個(gè)終端產(chǎn)品的制造中需要幾十種以上的氣體。
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